<samp id="kpeug"></samp>

^{<sub id="kpeug"></sub>}

晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)

簡要描述：Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。

產(chǎn)品型號：Nanotronics nSpec LS
廠商性質(zhì)：代理商
產(chǎn)品資料：
更新時間：2024-03-19
訪問量： 3273

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

Product Category

相關(guān)文章

詳細介紹

　　本產(chǎn)品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結(jié)果。

　　nSpec LS是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。

　　1. 半自動晶圓缺陷檢測功能

　　·基板，外延和圖案化晶圓

　　·透明和不透明的材料

　　·在膠片膠帶，托盤，凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切

　　·光罩

　　·樣品碎片

　　2. 系統(tǒng)特征

　　·多種分辨率設(shè)置，范圍從0.25 µm及更高

　　·快速掃描

　　·可定制的缺陷報告

　　·各種樣品夾頭可滿足特定需求

　　·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析

　　·檢查和審查程序

　　·多系統(tǒng)同步

　　·占地面積小，設(shè)施要求zui少

　　·機架安裝控件

　　3. 系統(tǒng)參數(shù)

　　重量：318 kg

　　外觀尺寸(W x D x H)：53 cm x 133 cm x 176 cm

　　zui小氣壓：24 in. Hg (70 kPa)

　　電源：110v/220v, 3.5 amps

　　光學(xué)器件：

　　照明模式：Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)

　　光源：白光LED(也可選其他)

　　物鏡倍率：2.5, 5, 10, 20, 或50x，用戶可選

　　工作臺：

　　典型行程：200 mm，X和Y方向

　　定位：帶有閉環(huán)編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)

　　重復(fù)性：+/- 0.5 µm

　　行程平整度：30 µm

　　結(jié)構(gòu)：精密地面滾道和交叉滾子軸承

　　支撐平臺：顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中

　　中心負載能力：2.27 kg

　　重量：11.33 kg

　　尺寸(W x D x H)：35 cm x 37 cm x 4 cm

　　備選功能：

　　AFM原子力顯微鏡：可根據(jù)要求提供規(guī)格

　　SECS/GEM

　　透射光

　　自動傳送晶圓片

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：Delcom 20J3 STAGE薄膜電阻測量儀

下一篇：Herz電鏡隔振臺

国产裸体舞一区二区三区,国产日韩欧美亚洲天堂,97在线精品国自产拍中文,国产精品18禁污污网站

晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：